溅射镀膜
用高能粒子轰击固体外面时能使固体外面的粒子得到能量并逸出外面,堆积在基片上。溅射征象于1870年开始用于镀膜技巧,1930年今后因为进步了堆积速率而渐渐用于工业生产。罕用的二极溅射装备如图3[
二极溅射示意图]。平日将欲堆积的资料制成板材--靶,牢固在阴极上。基片置于正对靶面的阳极上,距靶几厘米。体系抽至高真空后充入
10~1帕的气体(平日为气),在阴极和阳极间加几千伏电压,南北极间即发生辉光放电。







典型的光学镀膜材料是铝镀膜玻璃。由于银会反射更多的光,像银这样更昂贵的涂层将导致更昂贵的镜子的制造,从而具有更高的质量。光学涂层用于折射光线,而不是反射光线。这就是所谓的电介质涂层,它不仅用于消费者,也用于科学设备,如望远镜和激光。他们设计了这样的产品,如无反射的计算机屏幕、航天飞机的窗户和钱德拉X射线望远镜的镜子。