衬板必须烘干水份才能安装，烘干前，衬板的水分尽量抹干，工作架等部件用砂纸清洁后，需要把真空室的所有灰尘清理干净，此可用吸尘器吸干净灰尘。安装衬板时，真空室及衬板都需要用酒精控拭干净。因使用电子枪及离子源辅助镀膜，可能会造成清洁困难，可使用喷沙等方法来清洁。镀膜常用在相机镜头、近视、老花镜等矫正眼镜上使用。镀膜是在表面镀上非常薄的透明薄膜。
真空制备的镀层能防止镀层材料和镀层零件的表面污染，消除空间碰撞，提高镀层的细度，制备出具有单一化合物特殊功能的镀层。为了提高涂层厚度的均匀性，采用行星机构或行星运动形式等旋转运动设备的真空室具有良好的涂膜均匀性、良好的涂层台阶覆盖性能、较大的承载能力，并能充分利用有用空间。这是一种常见的运动形式。排气系统通常由机械泵、分散泵、管路和阀门组成。
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