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化学气相堆积技术是把含有构成薄膜元素的单质气体或化合物供给基体,凭仗气相作用或基体表面上的化学反应,在基体上制出金属或化合物薄膜的方法,天津塑胶渐变,首要包含常压化学气相堆积、低压化学气相堆积和兼有CVD和PVD两者特点的等离子化学气相堆积等。










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