真空镀膜则是相对于上述的湿式镀膜办法而发展起来的一种新型镀膜技能，一般称为干式镀膜技能。
真空镀膜技能一般分为两大类，即物理气相堆积（PVD）技能和化学气相堆积（CVD）技能。
物理气相堆积技能是指在真空条件下，使用各种物理办法，办公文具渐变加工成品，将镀料气化成原子、分子或使其离化为离子，直接堆积到基体外表上的办法。制备硬质反应膜大多以物理气相堆积办法制得，它使用某种物理进程，如物质的热蒸腾，或受到离子轰击时物质外表原子的溅射等现象，完成物质原子从源物质到薄膜的可控搬运进程。
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光学镀膜技术:
原子层沉积
与蒸发沉积不同，用于原子层沉积(ALD)的源材料不需要从固体中蒸发出来，办公文具渐变加工订购，而是直接以气体的形式存在。尽管该技术使用的是气体，真空室中仍然需要很高的温度。
在ALD过程中，气相前驱体通过非重叠式的脉冲进行传递，且脉冲具有自限制性。这种工艺拥有独特的化学性设计，每个脉冲只粘附一层，并且对光学件表面的几何形状没有特殊要求。因此这种工艺使得我们可以高度的对镀层厚度和设计进行控制，办公文具渐变加工，但是会降低沉积的速率。
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